[하나머티리얼즈] 국내 Si-Parts 1위 기업

2022.10.23 - [기업 공부/하나머티리얼즈] - [하나머티리얼즈] vs 티씨케이

 

 지난번에 티씨케이와 비교하는 포스팅이었다. 하지만 하나머티리얼즈의 강점이 있는 부분이 있다. Si 부품의 강자라는 사실이다. 반도체 부품에서 쿼츠 다음으로 높은 비중을 차지하는 것이 Si 부품이다. 

 

Si-Parts의 강자 하나머티리얼즈에 대해 알아보자.

 

반도체 등의 제조공정에 사용되는 실리콘 부품(Si-Parts)사업과 신규사업인 실리콘카바이드사업(SiC-Parts)으로 구성되며, 이는 반도체의 핵심 제조공정인 에칭(식각)공정에 사용되는 소모성 부품입니다. 

최근 반도체 공정에서의 고집적도를 위한 선폭 미세화에 따른 고밀도 플라즈마 환경의 도입과 Dry Etching 공정의 확산으로 Si 부품과 SiC 부품의 중요성이 더욱 부각되고 있습니다. 

자료: 각사, 하나금융투자

하나머티리얼즈는 Before 마켓에서 활동하는 기업이다. (일부 애프터에서도 활동 중이다.)

 

하나머티리얼즈는 반도체 식각공정에 필요한 제품을 주로 판매하는 기업이다. 

 

 매출의 46%를 차지하는 Si 일렉트로드란 Si 소재로 만든 원반 형태의 소모품이다. 식각장비 상단에 위치한다. 실리콘 웨이퍼 크기보다 큰 원반 형태이다. Shower head, Gas distribution 등으로 불리기도 한다. 미세구멍 사이로 가스를 통과시켜 웨이퍼 표면에 해당 가스가 균일하게 분사되도록 돕는 역할을 한다.

 

 Si링은 식각 장비 상단과 하단에 위치한다. 상단의 위치하는 링을 아우터링 이라고 한다. 반면에 하단에 위치하는 링을 포커스 링이라고 한다.

 

 상단 위치하는 아우터링은 일렉트로드를 웨이퍼와 평행하게 고 정시켜주는 역할을 한다.

 

  그리고 하단에 위치하는 포커스링은 웨이퍼 주변에 장착되어 플라즈마 밀도를 균일하게 유지하거나 또는 정확한 위치로 모이도록 도와주며 Wafer 및 ESC(정전기적인 힘을 이용하여 반도체 제조 장비 내에서 Wafer를 고정하는 부품), 전극 등을 보호하는 역할을 수행한다. 식각 공정에서 결정적으로 중요한 웨이퍼 테두리 부분의 수율이 포커스 Ring의 도움으로 개선된다.  

 

 따라서 식각공정에서 포커스링의 소재는 매우 중요하다. 실제로 포커스링은 매우 많이 소모되는 소모품이다.  

포커스링은 보통 12~15일로 매우 단축되었다. 포커스링의 교체주기가 짧아졌다는 의미는 그만큼 포커스링을 갈아주는 시간이 더욱 많아진다는 것이다. 효율이 줄어들며, 필요량도 급격하게 증가하는데, 24~30개로 증가하였다. 이러한 Si링의 단점을 극복하기 위해 만들어 진 것이 SiC 포커스 링이다. 

 

 2013년 티씨케이에서 처음으로 상용화 하였고 현재, 하나머티리얼즈에서도 꾸준하게 개발, 판매하는 제품이다. SiC링은 15~20일로 늘어나면서 가격이 비싸도 반도체 제작업체에게 수율과 효율성을 높여주는 장점이 있다.

 Si 링과 SiC 링이 식각장비에 쓰이지만 어플리케이션은 다소 다르다. 

 

식각장비는 유전체 식각과 전도체 식각장비로 나뉜다. 

 

 유전체 식각은 전체 식각 시장의 40% 를 차지하고 있다. 유전체 식각장비 시장에서는 Tokyo Electron 점유율이 가장 높다. 유전체 식각장비는 주로 DRAM 공정에 많이 쓰인다. 부품으로는 Si 링이 많이 쓰인다. 

 

 전도체 식각은 전체 식각 시장의 60%를 차지하고 있다. 전도체 식각장비 시장에 서는 Lam Research의 점유율이 가장 높다. 전도체 식각장비는 주로 3D NAND에 많 이 쓰인다. SiC 링이 수명이 길고 내구성이 우수해 전도체 식각에서 상대적으로 많이 쓰인다. 

 

따라서 하나머티리얼즈는 Si링 시장에서 큰 매출을 일으키고 있다. 특히 최근에 북미의 어플라이드 머티리얼즈, 램 리서치에게 실리콘 제품을 공급하면서 해외로의 매출 비중이 많이 상승했다. (2% → 10%로 확대)

 하나머티리얼즈는 반도체용 실리콘 잉곳을 직접 제작하여, Si Electrode와 Si Ring 모두 직접 가공, 세정까지 진행한다. 

 OCI로부터 장기계약(3~4년)으로 안정적으로 공급받는다. 이런 안정적 원재료 공급과 일괄형 생산공정은 매우 저렴한 원가 구조를 만들어내었고 Si 제품 경쟁사 대비 엄청난 원가 경쟁력을 보여준다.  국내 Si 파츠 시장점유율 1위 답다. 

 

 Si 제품들(Si 링과 일렉트로드)은 경쟁력이 우수함을 알아보았다. 신사업인 SiC링 사업은 어떨까?

 

 하나머티리얼즈에서 판매하는 SiC링은 전량 도쿄일렉트론(TLE)향이다. 최근 하이브리드 링(Si+SiC)을 만들었으나 역시 장비사들과의 이야기가 많이 필요한 듯 하다. SiC링은 그레파이드 증착 기술이 굉장한 난이도를 지니고 있으므로 시간이 필요해 보인다. 

 

 Si링은 비포 70% + 에프터 30%이다.

 SiC링은 비포 90% + 에프터 10% 이다. 

 

그렇기 때문에 SiC링은 장비사와의 이야기가 더욱 중요하다.

 

 하나머티리얼즈에서 자기자본의 48%의 공장 신설을 공시하였다. 내년에 완공을 목표로 하며, 1250억원의 대규모 투자이다. 기존 아산 공장에 비해 2배의 CAPA증설이다. 하나머티리얼즈의 수요계획을 기반으로 증설한 것으로 알려져있다. (고객사와 이야기 된 증설은 아닌 것)

 

이번에 기존 도쿄일렉트론 뿐만 아니라, 어플라이드 머티리얼즈 및 램 리서치로 부터의 공급 확대가 증설을 하게 된 이유인 것 같다. (SI링 등)

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 하나머티리얼즈는 Si-Parts 에서 국내 1위 기업이다. 또한 세계 3대 장비업체에도 납품하기 시작했다. 경쟁사인 월덱스에 비해 원가우위가 있다. 이번 2배의 CAPA 증설이 모두 매출로 이어진다면, 매우 큰 벨류 점프를 하게 될 것이다. 

 비교적으로 후발주자인 SiC링 시장에서도 꾸준히 성장을 해나갈 것이다. 티씨케이라는 커다란 경쟁자가 있으나, 특허 패소와 큰 폭의 성장률을 가진 SiC링을 기반으로 미래에도 꾸준한 성장을 이어갈 것이다. 

 

중간 배당을 실시하는 좋은 기업이다. 재무구조도 매우 이쁜 하나머티리얼즈의 성장이 기대된다.